第328章 对准系统的复工
赞叹!
“哇,实在是鬼斧神工!”
“一个人能够做到这种程度,已经不是天才能够形容的了,有时候我简直怀疑……”
丁教授眯眼打量陈远,“你不是人!”
陈远抽搐了两下嘴角,这听上去怎么不像是表扬的话呢?
颜教授在旁责怪道:“与其说那些没用的,不如趁早动工!只有早点把皮米光刻机做出来,才会让非巴特那个死老头破产。”
想到当时两人卑躬屈膝的哀求那些打手的模样,颜教授怎么可能一点恨意都没有?
想当初她在华夏相当受人尊重,可却被那样虐待,换了任何人,都会觉得愤愤不平!
陈远带着颜教授和丁教授先把图纸简单的看了一遍,随后转而进行对焦系统的复工。
两人如果有任何不明白的地方,可以随时问陈远,这让他们有一种陈远成了他们老师的错觉。
就好像两人刚上大学的时候,被大学老师谆谆教诲。
这种感觉不差,相对比来说,陈远这个老师做的实在合格。
能够得到陈远的指教,对他们来讲是一种无与伦比的荣幸。
实验室之外的其他成员都没办法得到这种指教,因此也羡慕不已!
“这里的对焦系统应该采用MEMS的双面微加工方法,能够让镜面反射,使得倾斜曝光系统对焦的准确率增强,还有简阻蒙皮,这种材料不行,要再纤细一些。”
陈远对于材料的选择,十分的苛刻和严厉。
颜教授感到钦佩不已!
光是简阻蒙皮就修了不下五次。
颜教授和丁教授虽说在陈远的指挥下行动,但其实随着三个人的一起研究,实验室的其他成员也都在加班加点的动工。
每个人除了吃饭和睡觉时间,几乎没有闲着的功夫。
光刻机的对准系统与控制系统是整个光刻机之中成本最高,最复杂的一部分。
其中最难搞的是稳定性。
就算真的能够将其对准,不能保证光刻机的稳定性,刻出来的芯片也不能用。