第1473章光刻机三
“林助理,说到技术,我就得谈谈光刻机的发展历史和种类,60年代,接触式光刻技术出现,当时的光刻机都是采用这项技术,70年代接近式光刻技术广泛应用,70年代中后期出现投影光刻技术,随着集成电路尺寸的不断缩小,出现了缩小倍率的步进重复光刻技术……”
“现在国际上生产光刻机最强的国家是东桑国,尼康听说过吗?我们国家在193纳米这个指标上被卡住多年了,而尼康现在已经采用157nm的f2激光了,至少领先我们二十年。”韩所长的情绪再次低落了。虽然他退休已经十年了,但是还是一直关注国际上光刻机领域的变化,坚持自费订阅国外的科技杂志。
林致远一愣,“东桑国,他们的光刻机最强?不是阿斯麦吗?”
“阿斯麦?”韩所长同样一愣,“你说风车国的那家公司?他们什么时候变成最强了,不是,绝对不是。”韩所长连连摇头。
林致远有点懵了。
难道这个世界和我原来的那个出现差异了?
直到韩所长给他介绍了光刻机领域几大巨头的浮浮沉沉历史,林致远这才明白,原来后期如日中天的光刻机王者阿斯麦并不是一上来就这么强的,80年代,光刻机的老大要属花旗国的gca。但gca在80年代中期就迅速衰败了。
当时导致gca失败的最终因素,主要是蔡司的g线镜头,一种光线漂移问题严重。在开始时一切都很好,但随着光刻机运行的时间变长,图像质量就会下降。因为急于向客户交付光刻机,所以gca在把镜头安装在机器上之前不会对镜头进行检查,这导致gca交付了数百台带有故障镜头的光刻机,而蔡司多年来对这个问题一无所知,只有不到10%的镜头被送回进行维修。
更大的问题是gca的光刻机无法自动纠正此类错误,工程师们也不知道问题出现的确切原因。
此时,一种渐进式创新技术